石英卤素红外加热灯是一种用于半导体设备快速热处理系统的高功率密度辐射热源，广泛应用于RTP、CVD、EPI及湿法设备加热系统。
✔ 内部螺旋钨丝发热体（不是电弧电极）
✔ 石英透明灯管（耐高温 >1000°C）
✔ 双针电极接口（大电流供电）
✔ 无放电腔、无电弧结构
⭐ 主要用途：快速加热光源
1️⃣ RTP / RTA 快速热处理设备（最典型应用）
用于：
优势：
升温速率可达 50–200°C/s
温控响应快
可区域控温
2️⃣ CVD / EPI 腔体预热光源
作用：
3️⃣ 湿法设备外部加热光源
用于：
| 特性 | 工程意义 |
|---|
| 热响应极快 | 提高产能 |
| 非接触加热 | 无污染 |
| 可分区控制 | 温度均匀 |
| 功率密度高 | 设备紧凑 |
| 寿命可预测 | 维护成本低 |
