石英卤素红外加热灯（Quartz Halogen IR Lamp）

该器件为石英卤素红外辐射加热灯，用于半导体设备中的快速、非接触式高响应热源，广泛应用于 RTP、湿法槽体加热及工艺腔体温控。

结构特征

• 透明石英玻壳（耐高温、耐热冲击）

• 螺旋钨丝

• 两端电极引出（单端供电结构）

• 外部金属反射套管（提高定向辐射效率）

1️⃣ RTP / RTA 快速热处理

作用：

• 快速升温（10–200°C/s）

• 精准控温

• 均匀辐射加热晶圆

用于工艺：

• 氧化

• 退火

• 激活掺杂

• 薄膜致密化

2️⃣ 湿法设备药液加热

优势：

• 无接触加热（避免污染）

• 热惯量小

• 响应速度快

3️⃣ EPI / CVD 腔体预热

用于：

• 腔体壁温控制

• wafer pre-heat

• 减少热梯度