短弧高强度放电灯（Short-Arc Discharge Lamp）

短弧放电光源，用于半导体设备中提供高亮度、高能量密度的紫外及可见光辐射，广泛应用于光刻曝光、光学检测及材料光照工艺。

氙短弧灯（Xenon Short-Arc Lamp）或汞氙短弧灯（Hg-Xe Lamp）

• 中间球形放电腔（短弧结构）

• 两端粗电极

• 石英灯体

• 单端供电结构

• 外接编织引线（高电流接地/回路线）

• 内部电极间距极短（短弧灯典型结构）

应用：

• Short Arc Lamp

• Xe Arc Lamp

• Hg-Xe Lamp

• UV Arc Source

• 曝光光源灯

⭐ 主要用途：紫外光源 / 高强度宽谱光源

1️⃣ 光刻设备光源（传统或特殊工艺）

作用：

• 提供高亮度UV光

• 曝光光刻胶

特点：

• 高亮度

• 高能量密度

• 光谱连续或带谱线

2️⃣ 检测 / 光学量测设备

用于：

• 缺陷检测

• 表面检测

• 光学检测系统

• 显微检测光源

优点：
光强稳定
光谱宽
色温高

3️⃣ 材料光照工艺

• UV固化

• 表面处理

• 光催化测试

• 材料老化测试

核心优势

适用于PCB/FPD/半导体行业曝光机设备。

国内首个国产化汞灯技术团队，可以为客户提供性价比最高的产品和服务。