苏州实钧芯微电子有限公司

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产品详情

大流量气体加热器

- 功率:6kW
- 电压:410V 三相
- 加热元件:单头式 SUS316 护套加热管
- 外壳材质:SUS316
- 流量:1200L/min
- 出口温度:≤ 180 °C
- 重量:25KG
- 尺寸:450*193*193mm
- 型号:SHIPF06-410-P3-W-S-L-34
- 适用工艺:高流量气体加热(如 N₂、He、NH₃ 等)、半导体制造、湿法工艺前处理、需要精确温度控制的连续在线加热工艺
产品详情

产品概述

本产品为一款工业级大流量在线气体加热器,适用于半导体、化工及洁净工艺中对连续气体加热、稳定控温及高可靠性的应用场景。采用 SUS316L 金属流道+均匀导热加热模块 结构,在较低装机功率下实现高效热利用,支持长期稳定运行。




产品信息

1. 主要性能

最大实测流量:1200 L/min

稳定出口温度:≤ 180 °C(实测)

工作模式:连续在线加热

加热对象:工艺气体(非冷凝)

2. 电气与加热参数

额定电压:AC 410 V,三相

标称功率:6 kW

加热元件:单头式 SUS316 护套加热管

导热结构:铸铝整体包覆导热

控制测温:K 型热电偶

超温保护:300 °C 独立温度开关

控制与保护回路分离设计,提高系统安全等级。

3. 气体通道与接口

气体加热通道:SUS316L 不锈钢管路

进 / 出气口管径:3/4" 管径

腔体耐压:7 kgf/cm²(≈0.7 MPa)

压降设计:直通式低压降结构

4.结构与外壳

外壳材质:SUS316 不锈钢板材

内部结构:全腔体隔热设计

安装方式:竖直或垂直安装

电缆入口:不锈钢电缆格兰接头

产品的安全与可靠性

1. 控制与超温保护双回路设计;

2. 标配 K 型热电偶用于控制器采样与反馈;

3. 机械式超温开关作为二次安全保护(300 °C),在异常情况下切断加热回路;

4. 禁止干烧保护逻辑;

5. 降低局部热点与热疲劳风险;

6. 典型工业工况使用寿命:≥12 个月。




产品应用

适用于工艺气体预热、反应前置加热、流量稳定温控等工业应用场合;特别适合如下工况:

1. 高流量气体加热(如 N₂、He、NH₃ 等);

2. 半导体制造、湿法工艺前处理;

3. 需要精确温度控制的连续在线加热工艺。




产品使用注意事项

1. 启动前须确保气体流量正常;

2. 严禁无气流状态下通电运行;

3. 搬运与安装过程中避免冲击与拉扯接口。