高纯PFA在线加热器

产品介绍：

该产品主要采用PFA材质，具有优异的化学兼容性，能够满足绝大多数腐蚀料液的加热需求。电热丝采用镍铬合金元件，外部包覆进口PFA材料，具有高加热效率、长寿命和高洁净度等优点。产品具有出色的安全性能，配备了出水温控PT100热电阻等安全控制设备。

产品优势：

PTFE外壳，采用全氟密封圈,耐高温200°C 以上,发热丝采用外包覆高纯PFA材料

耐腐蚀，适合HF、磷酸、硫酸、双氧水等药液的加热

重量轻，独特的设计细致轻巧

安装方便简单

防干烧和漏电保护

主要应用：

1.化学蚀刻 (Chemical Etching)： 在高纯酸液剥离晶圆表面薄膜工序中提供高精度的恒温控制。

2.湿法清洗 (Wet Cleaning)： 用于晶圆前道、后道以及各种高阶特殊清洗工艺，为清洗药液高效加热。

3.湿法沉积 (Wet Deposition)： 在特定材料的湿法化学沉积阶段进行流体线控温。

4.光刻过程中的后处理 (Post-Lithography Processing)： 针对光刻曝光、显影前后的高纯 IPA 及特定溶剂提供安全、稳定的直列式加热。

5.清洗和干燥步骤 (Cleaning & Drying Steps)： 为超纯水（DIW）或高纯溶剂在晶圆表面最后的冲洗、干燥工序前提供热能支持。

型号解析：

选型表