苏州实钧芯微电子有限公司

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键合加热盘

-： 加热范围：真空环境常温到550℃
-： 加热速度：升降温每分钟30℃。
-： 工作温度：500℃
-： 承压高：耐压10吨。
-： 加热盘尺寸：8-12寸
-： 安全性能：温度保护开关，PID控制
-： 表面精度：表面尺寸0.002以内
-： 温度精度：表面温度±1%
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