主要应用 单罐石英在线加热器具备自动恒温控制、节能和安全增强功能（如干烧保护和泄漏检测），使其非常适合晶圆加工的这些关键步骤，其中维持特定温度范围对晶圆的质量和一致性至关重要。 1. 晶圆清洗 - 在需要精确温度控制的清洗阶段，以去除污染物而不损伤晶圆。 2. 化学剂和溶剂加热 - 在化学处理步骤中，如蚀刻和显影过程，需要精确控制化学品的温度。 3. 光刻胶烘焙 - 在光刻过程中，需要烘焙晶圆以固化光刻胶层，其精确温度控制对保持图案完整性至关重要。 4. 蚀刻后和显影后处理 - 用于蚀刻后清洗和显影后阶段的加热，确保彻底去除残留物。 5. 快速热处理（RTP） - 在RTP步骤中提供快速均匀加热，这些步骤要求精确的温度控制，以修改硅晶圆的物理特性。 6. 湿热氧化 - 在需要控制加热溶液进行晶圆热氧化的过程中。
此外，单罐石英在线加热器也广泛应用于其他行业，包括医疗、制药、化学实验室和分析仪器、微电子和纳米技术、电力行业，以满足这些领域对高纯度和精确温度控制的严格要求。
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