【实钧芯】石英在线加热器

高纯材料，从源头保障洁净

• 进口美国石英料：主体采用高品质石英，耐腐蚀、耐高温，确保加热过程无污染。

• 高纯PFA转接头：适配性高。

• 阻燃PVC板：采用阻燃材料，提升整机安全性。

灵活电学参数，满足多样工艺需求

• 电压：220V – 380V 可选，支持单相或三相供电。

• 功率：4.5kW – 9kW 范围，可根据客户工艺要求定制。

• 工作温度：25°C – 180°C，覆盖半导体湿法及热处理常用温区。

典型应用场景

该加热器广泛用于：

• 晶圆清洗（SC-1、SC-2等药液加热）

• 化学与溶剂加热

• 光刻胶烘烤前预热

• 蚀刻后/显影后处理

• 快速热处理（RTP）

• 温热氧化工艺

此外，单罐石英在线加热器也广泛应用于其他行业，包括医疗、制药、化学实验室和分析仪器、微电子和纳米技术、电力行业，以满足这些领域对高纯度和精确温度控制的严格要求。

权威认证，品质有保障

• CE认证：已通过LVD低电压指令和EMC电磁兼容认证，符合欧盟安全标准。

• SGS检测：金属离子析出达到pp级别，满足半导体行业高洁净作业指标。

实钧芯始终坚持自主研发，为客户提供可定制、高可靠的石英在线加热解决方案。如需选型支持或技术交流，欢迎与我们联系。

期待与您的合作，共同助力国产半导体工艺升级！

苏州实钧芯微电子有限公司

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