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产品概览
半导体超纯水加热器
编号:
-: 液体管道材料:高纯石英玻璃(加热装置)、PFA(管道材料、阀门、管道接头)
-: 电压范围:200-400 VAC,三相
-: 短路电流额定值 (SCCR):25,000 Amps
-: 温度控制精度: ±1.0 °C(特定条件下)
-: 温度控制系统:精密PID控制
-: 通信:无缝 RS232 连接
-: 高级接地故障断路器 (GFCI) 系统:确保增强的安全性
-: 单泄压阀:确保快速泄压
-: 漏电保护开关:增强防漏安全性
-: 多语言界面:支持简体中文、繁体中文和英文
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化学药液温控器
编号:
-: 产品名称:帕尔贴
-: 材料优势: 氟树脂材料,确保与各种化学药液的兼容性。
-: 温度稳定性: ±0.1℃以内的温度稳定性,确保高精度的温度控制。
-: 温度调节范围: 20℃到50℃的宽广温度调节范围,满足不同需求。
-: 冷却能力: 提供300W、500W、750W的不同冷却能力选项,可根据需求选择。
-: 安全功能: 配备漏液检测功能,提高工作环境的安全性。
-: 耐压能力: 能够承受高达0.40MPa的压力,保证设备的稳定性。
-: 化学稳定性: 能够耐受高达49%的HF,适用于各种化学环境。
-: 通讯功能: 配备RS485通讯接口,方便与其他设备或系统集成。
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LED灯盘晶圆加热器
编号:
-: 该产品现已正式生产并稳定服务于我们的客户
-: 请与我们联系了解该产品
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N2氮气加热器
编号:
-: 基管材料:电解抛光304不锈钢
-: 电压:220V/50Hz
-: 功率:1300-1400W (+5%/-10%)
-: 电流:7A per zone
-: 气压:0.3-0.6MP
-: 流速:50-200L/min
-: 出口温度:25-200℃
-: 最大压力:5~6 bar
-: 外径:Φ38mm
-: 长度:180mm
-: 管径:A-1/2 B-3/8 C-1/4
-: 气体加热/液体加热:水平或垂直均可
单罐石英在线加热器
编号:
-: 加热元件: 卤素灯管 - Halogen Lamp Tube
-: 与药液接触材质:  高纯美国石英料,接口为高纯PFA转接件  High-Purity American GE Quartz Material, Interface with High-Purity PFA Adapters
-: 外观板材质: 阻燃PVC板 - Flame-Retardant PVC Panel
-: 电压 Voltage:200-380V 50/60Hz 单相/三相 Single/Three-Phase
-: 功率 Power:4.5kw - 9kw
-: 温度范围 Temperature Range:25-180℃
-: 进出接口 Inlet/Outlet Interface:3/4‘ 入珠
-: 主要应用:晶圆清洗、化学剂和溶剂加热、光刻胶烘焙、蚀刻后和显影后处理、快速热处理(RTP)、湿热氧化。
-: Application:Wafer cleaning, heating of chemicals and solvents, baking of photoresist, post-etch and post-development processing, rapid thermal processing (RTP), wet thermal oxidation.
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实钧芯晶圆花篮
编号:
-: 提供多种材料选项(PFA Teflon, ECTFE Halar, PVDF, 304L 不锈钢,316不锈钢,天然聚丙烯)
-: 可定制的尺寸和形状:基板间距/节距,基材接触点,侧开型材,基材方向,混合基材尺寸,设备自动化特点,包埋盒处理功能,可拆卸手柄
-: 应用工序包括:金属剥离、化学镀、均匀蚀刻、最大限度地减少第一片晶圆的影响、改进的 DIW 冲洗、改善干燥、适用于翘曲基材的宽槽、以及定制设备自动化。
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