苏州实钧芯微电子有限公司
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化学品加热 Chemicals 气体加热 Gas 半导体工艺光热源系统 |
高纯度石英
紧凑设计
易维护(高精度控温控制器选配)
紧凑设计
易维护(高精度控温控制器选配)
高纯度石英
紧凑设计易维护
高精度控温
紧凑设计易维护
高精度控温
高纯度使用
紧凑设计以维护
最小压力降低
紧凑设计以维护
最小压力降低
高精度冷热交换器，温度控制±0.2℃，紧凑设计，易于维护
采用全氟密封
独家高纯PFA包覆材料
独家高纯PFA包覆材料
接液部分：氟树脂
氮气N2保护
防爆认证
氮气N2保护
防爆认证
接液部分：EP洁净管
氮气保护
防爆认证
氮气保护
防爆认证
采用全氟密封
独家高纯PFA包覆材料
独家高纯PFA包覆材料
同侧石英在线加热器
使用温度可达180℃±1℃
化学药液电子温控器
精准控温±0.2℃
PFA防爆加热器
防爆认证
不锈钢防爆加热器
防爆认证
双侧石英在线加热器
使用温度可达180℃±1℃
小型石英在线加热器
使用温度可达180℃±1℃
PFA在线加热器
CMPHF/磷酸/硫酸/双氧水等药液的加热
功率：1.5kw
温度范围：25-200°C
流量范围：50-200L/min
温度范围：25-200°C
流量范围：50-200L/min
功率：6kW
出口温度：≤180℃
最大流量：1200L/min
出口温度：≤180℃
最大流量：1200L/min
功率：450W
温度范围：常温-500℃
流量范围：0.2-100NL/min
温度范围：常温-500℃
流量范围：0.2-100NL/min
功率：600W
温度范围：常温-500℃
流量范围：100-500NL/min
快速升温、超温保护
温度范围：常温-500℃
流量范围：100-500NL/min
快速升温、超温保护
功率：200W
温度范围：30-125℃
流量范围：50L/min
温度范围：30-125℃
流量范围：50L/min
功率：600W
温度范围：30-150℃
流量范围：200L/min
温度范围：30-150℃
流量范围：200L/min
氮气加热器
40秒升温200℃
大流量气体加热器
1200L/min
洁净型气体加热器
常温至500℃
洁净型气体加热器
常温至500℃
小型NMP混合气体加热器
200W
小型NMP混合气体加热器
600W
快速升温（10–200°C/s）
精准控温
均匀辐射加热晶圆
精准控温
均匀辐射加热晶圆
升温速率可达 50–200°C/s
温控响应快
可区域控温
温控响应快
可区域控温
提供高亮度UV光
高能量密度
光谱连续或带谱线
高能量密度
光谱连续或带谱线
自研产品
市场验证
稳定运行2年+
市场验证
稳定运行2年+
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