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编号：
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加热元件: 卤素灯管 - Halogen Lamp Tube
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与药液接触材质: 高纯美国石英料，接口为高纯PFA转接件 High-Purity American GE Quartz Material, Interface with High-Purity PFA Adapters
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外观板材质: 阻燃PVC板 - Flame-Retardant PVC Panel
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电压 Voltage：200-380V 50/60Hz 单相/三相 Single/Three-Phase
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功率 Power：4.5kw - 9kw
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温度范围 Temperature Range：25-180℃
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进出接口 Inlet/Outlet Interface：3/4‘ 入珠
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主要应用：晶圆清洗、化学剂和溶剂加热、光刻胶烘焙、蚀刻后和显影后处理、快速热处理（RTP）、湿热氧化。
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Application：Wafer cleaning, heating of chemicals and solvents, baking of photoresist, post-etch and post-development processing, rapid thermal processing (RTP), wet thermal oxidation.
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