苏州实钧芯微电子有限公司

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产品展示
化学品加热 Chemicals
气体加热 Gas
半导体工艺光热源系统
适合加热HCl，HNO3，H2SO4，H3PO4，NaOH, KOH, NH4OH
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高纯度石英
紧凑设计
易维护(高精度控温控制器选配)
高纯度石英
紧凑设计易维护
高精度控温
高纯度使用
紧凑设计以维护
最小压力降低
高精度冷热交换器，温度控制±0.2℃，紧凑设计，易于维护
采用全氟密封
独家高纯PFA包覆材料
接液部分：氟树脂
氮气N2保护
防爆认证
接液部分：EP洁净管
氮气保护
防爆认证
采用全氟密封
独家高纯PFA包覆材料
无O型橡胶圈结构
可使TMAH加热至80℃
用途：RCA清洗、湿法蚀刻
常态工作温度：65℃
最大加热温度：85℃
温度控制器控制，温度可调节
高纯石英管和高纯PFA管接头
配备先进的控温系统
流量范围：6-36L/min可选
通讯：以太网、IO可选
同侧石英在线加热器
使用温度可达180℃±1℃
化学药液电子温控器
精准控温±0.2℃
PFA防爆加热器
防爆认证
不锈钢防爆加热器
防爆认证
双侧石英在线加热器
使用温度可达180℃±1℃
小型石英在线加热器
使用温度可达180℃±1℃
PFA在线加热器
CMPHF/磷酸/硫酸/双氧水等药液的加热
PFA在线加热器
CMPHF/磷酸/硫酸/双氧水等药液的加热
适合加热N2，Ar, NH3, N2+IPA 或 NMP 等气体或混合气体
功率：1.5kW
温度范围：25-200℃
流量范围：50-200L/min
功率：2.8kW
温度范围：常温-350℃
流量范围：300L/min
功率：750W
温度范围：常温-350℃
流量范围：70L/min
功率：6kW
温度范围：25-180℃
流量范围：1200L/min
功率：450W
温度范围：常温-500℃
流量范围：0.2-100NL/min
功率：600W
温度范围：常温-500℃
流量范围：100-500NL/min
功率：200W
温度范围：30-125℃
流量范围：50L/min
功率：600W
温度范围：30-150℃
流量范围：200L/min
氮气加热器
40秒升温200℃
大流量气体加热器
1200L/min
洁净型气体加热器
常温至500℃
洁净型气体加热器
常温至500℃
小型NMP混合气体加热器
200W
小型NMP混合气体加热器
600W
光刻曝光、晶圆热处理、薄膜沉积、检测成像及材料处理
快速升温（10–200°C/s）
精准控温
均匀辐射加热晶圆
升温速率可达 50–200°C/s
温控响应快
可区域控温
提供高亮度UV光
高能量密度
光谱连续或带谱线
自研产品
市场验证
稳定运行2年+
四圈单独控制
可精确调节不同区域的加热温度
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